本发明涉及高透射率的钒基多层超晶格薄膜及其制备方法，属于薄膜材料领域。所述的超晶格薄膜是在基片上交替沉积VO2薄膜上和金属氧化物薄膜。本发明与现有技术相比，其显著优点为：（1）操作简单，工艺时间短，便于控制，适宜于工业化生产；（2）生长的薄膜厚度能精确控制；（3）生长的薄膜表面平整，分布均匀；（4）生长的薄膜透射率高，能更好的应用于智能窗、光储存、光电开光等领域。