本发明是将氧化锌纳米棒阵列与微电机结构相结合，利用氧化锌纳米棒受力弯曲变形所产生压电效应，将作用在微电机结构上的机械振动能转换成电能，构成交流纳米发电机。再利用串联多个这种发电机或二极管—电容升压装置，将微小电压升高至一定的电压。本发明可向一般电子电路提供所需电源，应用于不能使用蓄电池或其电源的场合。